FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品簡介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這  系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點：

  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量

  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳

  - 感器的高精度計量

  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高

  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高

  - 全量程高穩(wěn)定性

  - 全量程高精度和優(yōu)良的重復(fù)性

  - 低功耗

  - 低壓損                                                   

  - 響應(yīng)時間快

主要參數(shù)：