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腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京英格海德分析技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/8 11:36:50
  • 訪問次數(shù)240
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北京英格海德分析技術(shù)有限公司是分析儀器制造商在中國的代理。多年來,我們在客戶中建立了良好的聲譽(yù)。我們的客戶多數(shù)都是工作在新技術(shù)研究的前沿,如催化化學(xué)、氫能研究、等離子體物理、表面科學(xué)、大氣環(huán)境監(jiān)測、半導(dǎo)體材料和微納米測量領(lǐng)域。我們與他們保持著密切的、積極的關(guān)系。 我們在為客戶提供儀器設(shè)備的同時(shí),還為他們提供了及時(shí)周到的售后服務(wù),讓用戶無后顧之憂,使其專心科研。
20年前,Hiden在國際期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀,初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。20年來,Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力,針對(duì)不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。
腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀 產(chǎn)品信息

腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過程研究而設(shè)計(jì)的儀器,快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體,如反應(yīng)中間產(chǎn)物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強(qiáng)腐蝕性與半導(dǎo)體工藝氣體。

20年前,Hiden在國際期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀,初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。

20年來,Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力,針對(duì)不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點(diǎn):

  • 連接件電拋光工藝處理
  • 取樣壓力: 1mTorr to 1000Torr
  • 高靈敏度三級(jí)過濾四極桿
  • 檢測限可達(dá) 5 ppb
  • QGA專業(yè)版定量分析軟件

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