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GF135 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京北方大河儀器儀表有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/10/27 10:17:25
  • 訪問次數(shù)250
產(chǎn)品標簽:

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自1970年起,德國斯拉特(Thyracont)公司開始研發(fā)和生產(chǎn)從大氣壓到超高真空度的各類高質(zhì)量真空計,Thyracont真空計全部由高素質(zhì)人員在德國開發(fā)、制造和校正。產(chǎn)品范圍包括:小型數(shù)字真空表、真空規(guī)、真空控制器和真空開關(guān)。復雜的測試程序保證了上述產(chǎn)品系列使用壽命長、可靠和精確的標準。公司以可持續(xù)發(fā)展為目標,并以高標準要求,從而成就了Thyracont產(chǎn)品經(jīng)久耐用的品質(zhì).VD8系列 – 小型數(shù)字真空表/數(shù)據(jù)記錄器小型便攜真空表,測量范圍 1600 -5e-4 mbar,?配有內(nèi)存和USB接口,便于數(shù)據(jù)導出(比如,滲漏測試),電源或電池供電應用范圍:真空泵試驗和生產(chǎn)設備、滲漏檢測,固定式真空傳感器調(diào)整;真空泵和儀表的服務和保養(yǎng);特殊型號的真空包裝機;真空濃縮器;真空離心機;制冷設備和空調(diào)的充填。_Smartline系列– 真空傳感器,顯示器和控制單元智能真空計,測量范圍 1000 ? 1e-9 mbar, 在線輸出0?10 V和RS485 輸出,脈沖皮拉尼、皮拉尼/冷陰極、皮拉尼/熱陰極技術(shù),合適的一或多通道顯示和控制單元應用范圍: 冷凍干燥(凍干),真空鍍膜,薄膜蒸發(fā)器,真空爐,真空冶金,光譜儀,硅爐(塊),半導體,晶片鍵合,真空收集器,真空絕緣材料_Analogline系列 – 真空傳感器,顯示器和控制單元緊湊型壓電電阻和皮拉尼傳感器,測量范圍 1000 ?1e-3 mbar,4 – 20mA 輸出,合適的顯示器和控制單元,連續(xù)閥門應用范圍:真空爐,薄膜蒸發(fā)器,真空包裝,化工,工藝工程,過程自動化,工業(yè)真空設備__VRC/VRP系列 – 電真空開關(guān)(帶繼電器輸出)工業(yè)開關(guān),測量范圍1200-1e-3 mbar,直接開關(guān)泵和閥門,供惡劣環(huán)境下使用的IP54防護盒s應用范圍:真空設備控制,真空泵和其它設備的操作,安全開關(guān),輔助性泵開關(guān),工藝學,廠房施工控制等。 北京北方大河儀器儀表有限公司成立于2002年,專業(yè)經(jīng)營進口儀器儀表,我們代理的品牌有德國Thyracont真空計,德國Prignitz壓力傳感器/壓力變送器,美國Orange Research差壓表/流量計/開關(guān)及變送器,美國ONICON流量計,芬蘭HK INSTRUMENTS壓差變送器/壓差表,美國Fathom氣體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器,美國BROOKS質(zhì)量流量計,意大利Deltaohm,美國Lighthouse等,產(chǎn)品廣泛應用于真空設備、過濾系統(tǒng)、壓縮機、液化儲蓄罐、樓宇自控、空調(diào)制冷系統(tǒng)、氣象監(jiān)測、環(huán)境保護、潔凈廠房及工業(yè)現(xiàn)場等。
真空計
GF135系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器半導體產(chǎn)品金屬密封熱使用GF135診斷式壓力變化補償型(PTI)質(zhì)量流量控制器確保關(guān)鍵流量過程的準確控制并使通量
GF135 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器 產(chǎn)品信息

GF135 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器

半導體產(chǎn)品

金屬密封熱

使用 GF135 診斷式壓力變化補償型 (PTI) 質(zhì)量流量控制器確保關(guān)鍵流量過程的準確控制并使通量?!爸悄堋辟|(zhì)量流量控制器,該產(chǎn)品執(zhí)行累積衰減比流量測定,無需停止過程氣體輸送。半導體制造商可利用該產(chǎn)品實時驗證過程氣體流量準確性、檢查泄漏情況并監(jiān)視傳感器穩(wěn)定性同時無需將流量控制器從氣路上拆除。

GF135 PTI MFC 將全金屬接液流路、穩(wěn)定功能和過程氣體精度相結(jié)合,能夠改變各種淀積工藝的生產(chǎn)效率和吞吐率。

gf135

特點

  • 長期零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
  • 穩(wěn)定時間短:<300 ms – <400 ms
  • 滿量程流速:3 sccm 至 5 slm
  • 4µ 英寸 Ra 表面處理
  • 借助衰減率 (ROD) 技術(shù)實現(xiàn)的嵌入式實時流量故障檢測與預測功能
  • 加強過程氣體測量精度 – 可提升三倍 – 經(jīng)氣體實測優(yōu)化的高級氣體建模功能
  • 壓力變化補償 (PTI) 技術(shù)
  • 高清晰度的可旋轉(zhuǎn)電子 LCD 顯示屏能夠本地顯示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡地址
  • DeviceNet™、RS-485 和模擬接口

優(yōu)勢

  • 實時流量故障檢測功能可快速地根據(jù)流量偏差進行調(diào)節(jié)并能夠提高晶圓成品率
  • 傳感器穩(wěn)定性跟蹤功能可通過預防性維護延長系統(tǒng)運行時間
  • 閥泄漏跟蹤功能有助于降低”晶圓效應”
  • 提高過程氣體測量精度,使其滿足挑戰(zhàn)性的 10 nm 級過程氣體化學控制要求
  • 產(chǎn)品擁有穩(wěn)定速度,可減少非生產(chǎn)性流量穩(wěn)定步驟,支持 3D 設備加工
  • 提高壓力變化補償能力并實現(xiàn)高級過程氣體控制,從而強化蝕刻和沉積控制
  • 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器擁有長期穩(wěn)定性,可確保產(chǎn)率和通量
  • 支持表面安裝和 VCR MFC 的插入式更換,便于對現(xiàn)有系統(tǒng)中的關(guān)鍵氣路進行升級

應用

  • 半導體高級蝕刻工具

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