產(chǎn)品簡介
1.機臺名稱: 卷對卷式等離子體處理系統(tǒng)
2.機臺型號: OKSUN-RTR2000L-W800H
3.處理寬幅: 100mm~800mm(可定制)
4.真空腔: 2000L(可定制)
5.電源系統(tǒng): 2KW~10KW等離子體發(fā)生源
6.控制系統(tǒng): 觸摸屏+PLC自動控制
7.進氣系統(tǒng): 標配2路工作氣體,可擴展至5路工作氣體(Ar2、N2、H2、CF4、O2)
8.機臺用途:用于處理PI聚酰亞胺薄膜、FPC柔性線路板的真空卷對卷設備;
9.設備特點:主要用于處理100~600mm寬幅之材料,材料在真空室內(nèi)部水平處理,上下料簡單,可用于刻蝕工藝。