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行業(yè)產(chǎn)品

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ICP增強化學氣相沉積（ICP-CVD）

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地深圳市

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更新時間：2024-09-05 10:03:30瀏覽次數(shù)：191次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：54條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：瞿經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(ICPChemicalVaporDeposition,ICPVD)利用ICP線圈將反應氣體高度離化，是的CVD可以在高溫下實現(xiàn)一些特殊材料的沉積

詳細介紹

電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(ICP Chemical Vapor Deposition, ICPVD)利用ICP線圈將反應氣體高度離化，是的CVD可以在高溫下實現(xiàn)一些特殊材料的沉積。該產(chǎn)品需根據(jù)用戶的應用需求定制，目前定制的產(chǎn)品成功制備出直立生長石墨烯，而且可以通過工藝控制材料的生長狀態(tài)。這種石墨烯在催化，場發(fā)射領域都有廣泛的應用。


技術參數(shù)：
1 基片尺寸2～6 英寸；
2 加熱溫度 900℃；
3 最多可拓展6路工藝氣體；
4 可選快速傳樣腔體；


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