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高精度實時三維分析FIB-SEM三束系統(tǒng) NX9000

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-09-28 13:03:33瀏覽次數(shù):146次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:32條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:宋先生

產(chǎn)品簡介

通過自動重復使用FIB制備截面和進行SEM觀察,采集一系列連續(xù)截面圖像,并重構特定微區(qū)的三維結構。采用的鏡筒布局,從*材料、*設備到生物組織——在寬廣的領域范圍內(nèi)實現(xiàn)傳統(tǒng)機型難以企及的高精度三維結構分析。

詳細介紹

image.png SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角,形成三維結構分析的鏡筒布局

image.png 融合高亮度冷場發(fā)射電子槍與高靈敏度檢測系統(tǒng),從磁性材料到生物組織——支持分析各種樣品

image.png 通過選配口碑良好的Micro-sampling®系統(tǒng)*和Triple Beam®系統(tǒng)*,可支持制作高品質(zhì)TEM及原子探針樣品


◆ 垂直入射截面SEM觀察可忠實反映原始樣品結構

SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角,實現(xiàn)FIB加工截面的垂直入射SEM觀察。

舊型FIB-SEM采用傾斜截面觀察方式,必定導致截面SEM圖像變形及采集連續(xù)圖像時偏離視野,直角型結構可避免出現(xiàn)此類問題。

通過穩(wěn)定獲得忠實反映原始結構的圖像,實現(xiàn)高精度三維結構分析。

同時,F(xiàn)IB加工截面(SEM觀察截面)與樣品表面平行,有利于與光學顯微鏡圖像等數(shù)據(jù)建立鏈接。

日立掃描電子顯微鏡

樣品:小白鼠腦神經(jīng)細胞

樣品來源:自然科學研究機構/生理學研究所 窪田芳之 先生


◆ Cut&See/3D-EDS*1/3D-EBSD*1可支持各種材料

Cut&See

從生物組織及半導體到鋼鐵及鎳等磁性材料——支持低加速電壓下的高分辨率和高對比度觀察。

FIB加工與SEM觀察之間切換時,不需要重新設定條件,可高效率的采集截面的連續(xù)圖像。


日立掃描電子顯微鏡

提取截面圖像?三維重構圖像

樣品:鎳

SEM加速電壓:1 kV

加工間距:20 nm

重復次數(shù):675次

3D-EDS*1

不僅支持截面SEM圖像,也支持連續(xù)采集一系列截面的元素分布圖像。

通過選配硅漂移式大立體角EDS檢測器*1,可縮短測定時間以及可在低加速電壓下采集元素分布圖像。


日立掃描電子顯微鏡

樣品:燃料電池電極

SEM加速電壓:5 kV

加工間距:100 nm

重復次數(shù):212次

樣品來源:東京大學 生產(chǎn)技術研究所 鹿園直毅 教授

3D-EBSD*1

以的方式配置SEM/FIB/EBSD檢測器*1,在FIB加工與EBSD分析之間無需移動樣品臺即可實現(xiàn)3D-EBSD。因為無需移動樣品臺,所以可大幅提高三維晶體取向分析的精度和效率。


日立掃描電子顯微鏡

樣品:鎳

SEM加速電壓:20 kV

加工間距:150 nm

重復次數(shù):150次

*1:選配


日立掃描電子顯微鏡

日立掃描電子顯微鏡

*2:根據(jù)樣品座不同,行程不同


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