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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州科瑞達(dá)實(shí)驗(yàn)器材有限公司


潔凈厭氧高溫氣氛爐

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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

用途：光刻工藝后段，光刻膠固化

詳細(xì)介紹

用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

■ 特點(diǎn)：

→ 工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm以下。

→ 程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

→ 快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

→ 配置了自動(dòng)門(mén)鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。

→ 全不銹鋼材質(zhì)。

→ 在安全方面，配置了自動(dòng)過(guò)升防止、過(guò)升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓！⒌獨(dú)饬髁慨惓！⑦^(guò)電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。

■ 規(guī)格：

型號(hào)

C1-008

溫度范圍

室溫+30～360℃

室溫+50～500℃

溫度分布精度

±4.0℃（at 360℃）

±8.0℃（at 500℃）

溫度上升時(shí)間

60min（室溫→360℃）

90min（室溫→500℃）

溫度下降時(shí)間

90min（360℃→50℃）

120min（500℃→50℃）

氧濃度

20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間

約45分鐘

潔凈度

100級(jí)

裝備

氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸

W600×D600×H600mm

電源

3相 AC380V




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