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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)一般來(lái)說(shuō)，HEPA高效過(guò)濾器裝于超凈工作臺(tái)頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA過(guò)濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。
超凈工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)及如何空氣凈化說(shuō)明
空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾的生產(chǎn)環(huán)境首先被航空航天工業(yè)使用。即使一個(gè)極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，NASA（美國(guó)航空航天中心）和其服務(wù)商們建造了帶有過(guò)濾天花板夾層和過(guò)濾墻體的車(chē)間。而且了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個(gè)主要的問(wèn)題是當(dāng)從小加工車(chē)間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車(chē)間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺(tái)法。這個(gè)主要是把過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)。在工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸。
在大型車(chē)間中按順序排列的工作臺(tái)（叫做工作層流罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過(guò)濾器是一種高效顆粒搜集過(guò)濾器（HEPA高效過(guò)濾器）。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過(guò)濾層，使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。HEPA過(guò)濾器可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法中。
一般來(lái)說(shuō)，HEPA高效過(guò)濾器裝于超凈工作臺(tái)頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA過(guò)濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱(chēng)為空氣層流立式式（VLF）工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺(tái)把HEPA過(guò)濾器裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱(chēng)為空氣層流平行（HLF）式工作臺(tái)。
這兩種工作臺(tái)按兩種方法來(lái)保持晶圓清潔：首先是工作臺(tái)內(nèi)的空氣凈化；其次，凈化過(guò)程在工作臺(tái)內(nèi)產(chǎn)生一點(diǎn)空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進(jìn)入工作臺(tái)。
使用化學(xué)溶液的工藝需要對(duì)VLF式工作臺(tái)進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)，這種工作臺(tái)必須接有空氣排風(fēng)，以吸收化學(xué)溶液蒸汽，因?yàn)檎羝麜?huì)產(chǎn)生安全及污染的危險(xiǎn)。在這種設(shè)計(jì)下，必須平衡VLF與排風(fēng)中的空氣流，來(lái)維持工作臺(tái)的潔凈級(jí)別數(shù)。而且還要求晶片需存放在工作臺(tái)中相對(duì)較潔凈的前部。
超凈工作臺(tái)的方法還可應(yīng)用于現(xiàn)代晶圓加工設(shè)備中。在每臺(tái)設(shè)備上安裝VLF或HLF式工作臺(tái)來(lái)保持晶圓在裝卸過(guò)程中潔凈。
超凈工作臺(tái)保養(yǎng)規(guī)程
1、應(yīng)安放于衛(wèi)生條件較好的地方，便于清潔，門(mén)窗能夠密封以避免外界的污染空氣對(duì)室內(nèi)的影響。
2、安放位置應(yīng)闊別有震動(dòng)及噪音大的地方。
3、嚴(yán)禁安放在產(chǎn)生大塵粒及氣流大的地方，以保證操縱區(qū)空氣的正?；顒?dòng)。
4、接通超凈工作臺(tái)的電源，旋開(kāi)風(fēng)機(jī)開(kāi)關(guān)，使風(fēng)機(jī)開(kāi)始正常運(yùn)轉(zhuǎn)，這時(shí)應(yīng)檢查高效過(guò)濾器出風(fēng)面是否有風(fēng)送出。
5、檢查照明及紫外設(shè)備能否正常運(yùn)行，如不能正常運(yùn)行則通知工程部檢驗(yàn)。
6、工作前必須對(duì)工作臺(tái)四周環(huán)境及空氣進(jìn)行超凈處理，認(rèn)真進(jìn)行清潔工作，并采用紫外線滅菌法進(jìn)行滅菌處理。
7、凈化工作區(qū)內(nèi)嚴(yán)禁存放不必要的物品，以保持潔凈氣流活動(dòng)不受干擾。
8、使用工作臺(tái)時(shí)，先經(jīng)過(guò)清潔液浸泡的紗布擦拭臺(tái)面，然后用消毒劑擦拭消毒。
9、接通電源，提前50分鐘打開(kāi)紫外燈照射消毒，處理凈化工作區(qū)內(nèi)工作臺(tái)表面積累的微生物，30分鐘后，封閉紫外燈，開(kāi)啟送風(fēng)機(jī)。
10、工作臺(tái)面上，不要存放不必要的物品，以保持工作區(qū)內(nèi)的潔凈氣流不受干擾。
11、操縱結(jié)束后，清理工作臺(tái)面，收集各廢棄物，封閉風(fēng)機(jī)及照明開(kāi)關(guān)，用清潔劑及消毒劑擦拭消毒。
12、最后開(kāi)啟工作臺(tái)紫外燈，照射消毒30分鐘后，封閉紫外燈，切斷電源。
13、每仲春用風(fēng)速計(jì)丈量一次工作區(qū)均勻風(fēng)速，如發(fā)現(xiàn)不符合技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)調(diào)節(jié)調(diào)壓器手柄，改變風(fēng)機(jī)輸進(jìn)電壓，使工作臺(tái)處于狀況。
14、每月進(jìn)行一次維護(hù)檢查，并填寫(xiě)維護(hù)記錄。
15、每次使用完畢，立即清潔儀器，懸掛標(biāo)識(shí)，并填寫(xiě)儀器使用記錄。
16、取樣結(jié)束后，先用毛刷刷往潔凈工作區(qū)的雜物和浮塵。
17、用細(xì)軟布擦拭工作臺(tái)表面污跡、污垢目測(cè)無(wú)清潔劑殘留，用清潔布擦干。
18、要經(jīng)常用紗布沾上酒精將紫外線殺菌燈表面擦干凈，保持表面清潔,否則會(huì)影響殺菌能力。
19、效果評(píng)價(jià)：設(shè)備內(nèi)外表面應(yīng)該光亮整潔，沒(méi)有污跡。
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