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行業(yè)產(chǎn)品

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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機YSP63FA

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更新時間：2023-07-16 13:16:58瀏覽次數(shù)：191次

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聯(lián)系人：曹經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

特點●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒

詳細介紹

特點 
●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。 
●軟性基板也可以進行傳送操作。 
●傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)?！窨赏ㄟ^網(wǎng)絡進行遠程操作（選購品）。
模式 RIE（DP模式選購）
高頻輸功率 600W
反應臺尺寸 W385×D362mm
反應氣體 2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應氣體流量控制 質(zhì)量流量控制器
氣體導入口 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
內(nèi)腔尺寸 W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）
外形尺寸 W1860×D1100×H1800mm
真空泵 旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）


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