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行業(yè)產(chǎn)品

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山東東南儀誠實驗室設(shè)備有限公司


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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000X

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更新時間：2023-07-14 13:07:05瀏覽次數(shù)：171次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：曹經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

使用等離子的表面處理裝置

詳細(xì)介紹

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 
高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng) 
多種用途。 
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。 
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。 
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。 
特征 
●硅晶圓的灰化及蝕刻 
●基板表面污垢處理 
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理 
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗 
●自然氧化膜·有機(jī)物去除 
●界面活性處理 
●表面污染物去除
等離子模式 DP/RIE
高頻電源 13.56MHz
輸出功率 Max1000 & 1500W
有效電極尺寸 W300×D300mm
電極 2段電極（獨(dú)立）
反應(yīng)氣體 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配） 約1500L/min
安全裝置 門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等


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