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Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器

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產品型號OG-5000

品       牌

廠商性質其他

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更新時間：2023-06-09 14:26:42瀏覽次數：307次

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產品簡介

Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺流程中。OG-5000系列設計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經過驗證的技術使得它可廣泛應用于半導體流程中。

詳細介紹

Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000

OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺流程中。OG-5000系列設計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經過驗證的技術使得它可廣泛應用于半導體流程中。


Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000特征
  • 高純度臭氧
  • 高臭氧濃度
  • 價格低
  • 無耗材
  • 設計緊湊，模塊化
  • 經過驗證的技術
Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000應用
化學氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
灰化
顆粒清潔
光刻膠去除
其他
更多Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000信息請直接致電埃登威上海

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