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臺(tái)式顯微鏡 TM4000II/TM4000PlusII

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上海維翰光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品說明： TM4000 系列采用*新和尖*技術(shù)，重新定義了桌面顯微鏡的功能。這款新*代久負(fù)荷的日立桌面顯微鏡 (TM) 集成了易用性、優(yōu)化成像和高圖像質(zhì)量，同時(shí)保持了久負(fù)荷的 Hitachi...

詳細(xì)介紹

TM4000 系列采用*新和尖*技術(shù)，重新定義了桌面顯微鏡的功能。這款新*代久負(fù)荷的日立桌面顯微鏡 (TM) 集成了易用性、優(yōu)化成像和高圖像質(zhì)量，同時(shí)保持了久負(fù)荷的 Hitachi TM 系列產(chǎn)品的緊湊設(shè)計(jì)。使用日立 TM4000 和 TM4000Plus，體驗(yàn)桌面顯微鏡的新尺寸。在短短幾分鐘內(nèi)插入數(shù)據(jù)采集和報(bào)告生成示例！

TM4000 系列為 SEM 用戶提供了一種解決方案，可以輕松獲得高質(zhì)量的數(shù)據(jù)并快速生成報(bào)告，從而實(shí)現(xiàn)*效的工作流程。環(huán)b、*效的真空系統(tǒng)可縮短泵送時(shí)間和高樣品處理量。可容納直徑可達(dá) 80 mm、厚度可達(dá) 50 mm 的樣品尺寸。
觀察圖像3分鐘?？裳杆佾@得所需數(shù)據(jù)，并制作報(bào)告。

觀察與分析的靈活性
自動(dòng)獲取各類數(shù)據(jù)。快速切換！

可快速獲得元素分布圖*2

*1TM4000PlusⅡ的功能。*2選配
使用Camera Navi*的話，就是如此簡(jiǎn)單
Camera Navi圖像讓您輕松找到視野，分布圖(MAP)功能全程支持您的觀察

*選配：Camera Navi系統(tǒng)
操作簡(jiǎn)單且快捷
觀察圖像只需 3 分鐘。
可快速觀察圖像，并導(dǎo)出測(cè)試報(bào)告。
Report Creator可讓您輕松制作報(bào)告
只需選擇圖像和模板，就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的報(bào)告

即便是jue緣物樣品，也無需預(yù)處理，就可直接進(jìn)行觀察
“靜電減輕模式”可抑制靜電現(xiàn)象
對(duì)于容易產(chǎn)生靜電的樣品，可使用“靜電減輕模式”，在抑制靜電的狀態(tài)下進(jìn)行觀察。
只需用鼠標(biāo)在軟件上點(diǎn)擊即可切換到“靜電減輕模式”。
可在低真空的條件下進(jìn)行多種觀察
對(duì)于容易產(chǎn)生靜電的粉末或含水等樣品，可結(jié)合其目的進(jìn)行觀察。

可在低真空的條件下進(jìn)行二次電子像（表面形狀）觀察。
無需預(yù)處理，也可以觀察jue緣物和含水、含油樣品的表面
不僅是觀察傳統(tǒng)的導(dǎo)電性樣品，還可以在無預(yù)處理的條件下觀察jue緣物和含水、含油樣品?？煽焖龠M(jìn)行二次電子像與背散射電子像之間的切換。
高感度低真空二次電子檢測(cè)器
采用高感度低真空二次電子檢測(cè)器(UVD)。通過檢測(cè)由于電子線與殘留氣體分子之間的碰撞而產(chǎn)生的光，可以觀察帶有二次電子信息的圖像。
此外，通過控制該檢測(cè)器，來檢測(cè)電子照射所產(chǎn)生的光，可以獲得CL信息（UVD-CL：帶有CL信息的圖像）。

高感度低真空二次電子檢測(cè)器的檢測(cè)原理

可支持加速電壓20 kV
TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速電壓20 kV。
憑借EDS分析（選配），可進(jìn)行更高計(jì)數(shù)率解析。
通過加速電壓20 kV，實(shí)現(xiàn)EDS元素分布圖的高S/N化

Multi Zigzag（選配）
可實(shí)現(xiàn)在廣域范圍內(nèi)進(jìn)行SEM觀察。
搭配自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)低倍率，高精度，大范圍的觀察分析。

EM 樣品臺(tái)（選配）
可輕松觀察 STEM 圖像
與全*開發(fā)的 STEM 樣品臺(tái)和高靈敏度低真空二次電子檢測(cè)器(UVD)配合使用，可輕松觀察小倍率 STEM 圖像。
可輕松觀察薄膜樣品和生物樣品。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	TM4000PlusII	TM4000II
倍率	×10～×100,000（照片倍率） ×25～×250,000（顯示器倍率）
加速電壓	5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
圖像信號(hào)	背散射電子二次電子復(fù)合圖像（背散射電子+二次電子）	背散射電子
真空模式	導(dǎo)電體（僅背散射電子）標(biāo)準(zhǔn) 靜電減輕	標(biāo)準(zhǔn) 靜電減輕
樣品可移動(dòng)范圍	X：40 mm Y：35 mm
*大樣品尺寸：	80 mm（直徑） 50 mm（厚度）
電子槍	集中燈箱(Pre-Centered Catridge Filament)
檢測(cè)器	背散射電子：高感度4分割背散電子檢測(cè)器二次電子：高感度低真空二次電子檢測(cè)器	背散射電子：高感度4分割背散射電子檢測(cè)器
排氣系統(tǒng) （真空泵）	渦輪分子泵：67 L/s　1臺(tái) 隔膜泵：20 L/min
尺寸與重量	主體：330（寬度）×614（進(jìn)深）×547（高度） mm、54 kg（附帶馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)）主體：330（寬度）×617（進(jìn)深）×547（高度） mm、54 kg（附帶手動(dòng)樣品臺(tái)）隔膜泵：144（寬度）×270（進(jìn)深）×216（高度） mm