? ? ?? 武漢頤光科技有限公司（Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd）是國內從事橢偏儀以及光學納米測量設備研發(fā)、制造與銷售的企業(yè)。公司由多位具有二十多年偏振光學測量經(jīng)驗的專家聯(lián)合創(chuàng)辦，與華中科技大學緊密合作，現(xiàn)有員工80%以上擁有碩士或博士學位，是橢偏光學儀器領域非常有優(yōu)勢的技術團隊。
? ? ?? 頤光科技注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷，面向，為用戶提供光學散射測量儀等系列產品，并提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。產品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學、電化學、光學鍍膜和保護膜、減反膜、光刻材料等眾多領域。
? ? ? 頤光科技充分利用武漢地區(qū)的交通便利和人才優(yōu)勢，立志成為中國的光學儀器設備研發(fā)創(chuàng)新平臺和產業(yè)化基地，立志成為企業(yè)值得信賴的合作伙伴。
一、概述
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進行無損測量，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時搭配R-Theta位移臺，兼容6到12寸樣品，可以對整個樣品進行快速掃描，快速準確測量薄膜厚度、光學常數(shù)等信息，并對于膜厚均勻性做出評價。
■ 光學薄膜測量解決方案；
■ 非接觸、非破壞測量；
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；
■ 膜厚重復性測量精度：0.02nm
■ 全自動測量，測量點數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯
■ 采用高強度鹵素燈光源，光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍；
■ 采用光機電高度整合一體化設計，體積小，操作簡便；
■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；
■ 配置強大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息；
三、產品應用
廣泛應用于各種介質保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。
技術參數(shù)
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